射频电源
摘要：我司射频电源选用高质量的元件和成熟的设计方案，使产品的可靠性、寿命达到最优化，从而使您的投资和制程能力最大化地利用。用户界面友好，操作简单，上手容易，可为顾客减少人员培训成本，提高操作人员工作效率。整个电源系统采用PIC逻辑芯片和顶级的A/D转换芯片去闭环控制射频输出功率，使该产品具有极其稳定的功率输出，减少了由等离子体阻抗变化引起的功率波动。
我司射频电源选用高质量的元件和成熟的设计方案，使产品的可靠性、寿命达到最优化，从而使您的投资和制程能力最大化地利用。用户界面友好，操作简单，上手容易，可为顾客减少人员培训成本，提高操作人员工作效率。整个电源系统采用PIC逻辑芯片和顶级的A/D转换芯片去闭环控制射频输出功率，使该产品具有极其稳定的功率输出，减少了由等离子体阻抗变化引起的功率波动。面板操作直观快捷简单，有主/从电源设置，各种问题诊断说明，提供多种外接用户端口供客户选择，包含RS232，RS485，DB25针模拟用户端口，与匹配器进行接口通讯控制，超大的LED显示屏直观地显示实时匹配电容大小。
我司电源拥有多种频段和功率选择，频段有2MHz，4MHz，13.56MHz，27.12MHz，40.68MHz，额定功率主要规格有100W，500W，1000W，2000W，4000W。